EDAX Blog 关于一次测试的联想

Dr. Sophie Yan, Applications Engineer, Gatan/EDAX 最近的培训班上，一个学员拿来一个NdFeB的样品，据说是在他们的机器上没有得到好的结果，在我的机器上试试。样品已制好，是一个黑色镶样，的确不算理想的样品，但是也还好(事实上后来发现表面平整度很不错)。我用热熔胶把样品固定在台子上，把除样品外的表面都涂上银浆。放进腔室，探头进去，发现有明显花样，我长吁一口气：这比我预计的情况要好很多。 事实上这个样品测的结果还不错，标定成功率大概达到75%左右，在使用了球形标定再次扫描之后约为98%。据学员说，这类样品的EBSD结果，文献上很少见到，当然这也是他们一直想做这样品的原因，可惜他们之前测试，基本没有能用的结果。 我跟学员们讨论结果相差如此大的原因。通常他们用碳胶带粘样品，表面处理无非是再搭另外一条胶带。虽说胶带号称导电，但实际导电效果可能极其一般。通常我的选择是使用金属夹具防止70度倾转时的样品滑动；或者就是使用热熔胶，能最大程度的固定样品。表面用液体银浆或者碳浆涂满不导电区域。 获得最优的结果需要调节电压束流曝光时间等参数。但是这些通常跟材料性能相关，一类材料往往有它最适用的范围。如果受制样条件所限，可能操作中达不到最佳的电压，束流，或由于样品漂移导致曝光时间不足，是非常可惜的。应该尽量避免。 当然，球形标定对样品结果的提高也不可小觑。这次的结果留待他们进一步处理，而我正好有一个类似的样品，其结果对比更强烈：标定成功率从2.3%到92%，让我之前以为是无用的数据，又焕发了生机。 对于疑难样品，我们有很多手段，一点一点攻克之前看来是坚不可摧的堡垒。希望我的客户们，也能都熟练运用这些技术手段，做出更好的成绩来。